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技術(shù)條件
    真空泵：CUIMAN RTO/70SW羅茨真空泵 +德國LEYBOLD獨(dú)資D40C旋片泵或德國BAOSI 獨(dú)資 BSV40泵
    極限真空度：0.04mbar / 4*10^-4 mbar
    抽速：250+40m³/h(在入氣口不小于20mm的情況下，每立方米容積抽真空時間小于15-30分鐘)
    功率：3KW  380V  50Hz
    進(jìn)氣口：20mm，可選擇1-4路抽真空系統(tǒng)

元件
    真空泵：2臺
    數(shù)字真空計：1只
    DISPLAY：0-10⁵Pa
    閥門：2-5只 DN15不銹鋼真空壓力球閥
    接口、連接頭：1-4只
    機(jī)架：1只
    連接管道：1-4根（DN20）5-8M
    控制電器：380V  50Hz
    相序控制器：1套